關(guān)于光學(xué)位移平臺產(chǎn)品總結(jié)報(bào)告
KX系列光學(xué)位移平臺有超高轉(zhuǎn)動(dòng)精度,勻速穩(wěn)定性,、小的軸向和徑向跳動(dòng)誤差,,以及高剛性等特點(diǎn)。LX系列光學(xué)位移平臺是憑借研發(fā)團(tuán)隊(duì)的材料,、結(jié)構(gòu),、仿真分析等專業(yè)技術(shù),對轉(zhuǎn)臺整體進(jìn)行不斷優(yōu)化的結(jié)果,,非接觸的氣浮軸承結(jié)構(gòu),,實(shí)現(xiàn)無摩擦的轉(zhuǎn)動(dòng),,使LX系列氣光學(xué)位移平臺達(dá)到微米以下級別的轉(zhuǎn)角精度,。
光學(xué)位移平臺應(yīng)用領(lǐng)域
科研,;工業(yè)制造,;激光加工制造,;電子零件生產(chǎn)、組裝,;半導(dǎo)體制造,、檢測,;平面顯示器制造,、檢測
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