精密位移平臺的結(jié)構(gòu)
轉(zhuǎn)動平通過四個對稱設(shè)置的平行柔性鉸鏈與基座7相連,。當(dāng)兩個驅(qū)動器的進給位移相等時,,轉(zhuǎn)動平臺將繞平臺的中心轉(zhuǎn)動
精密位移平臺數(shù)學(xué)建模
工作行程,、分辨率,、精度,、固有頻率是精密定位平臺的主要性能指標(biāo)[8],。在以柔性鉸鏈為傳動機構(gòu)的微動平臺的設(shè)計中,,柔性鉸鏈的設(shè)計尤為重要,。因此,,本設(shè)計對精密定位機構(gòu)進行了剛度,、固有頻率和強度分析,在此基礎(chǔ)上對機構(gòu)進行了設(shè)計,,所選的材料是彈性較好的65Mn,。其相關(guān)參數(shù)如下:屈服強度:σs=785MPa;彈性模量:E=210GPa,;密度: ρ=7.9×103kg/m3 ,;泊松比:μ=0.3
精密位移平臺的剛度分析
本設(shè)計中,采用了Btrain D. Jensen, Larry L. Howell提出的Small-length flexural pivot 型柔性鉸,。平臺可簡化為一個剛體通過4個對稱柔性鉸鏈與支架相連的模型,。
精密位移平臺的強度分析
在微動平臺的設(shè)計中,不但要保證平臺的剛度和固有頻率條件,,也要保證平臺的強度,。一般允許應(yīng)力為材料屈服強度的10%左右。
精密位移平臺的優(yōu)化設(shè)計
為了獲得較大的行程,,所以應(yīng)當(dāng)在保證平臺的固有頻率和強度的條件下,,盡可能降低平臺的剛度。以a和t為優(yōu)化變量